Легирование эпитаксиальных слоев полупроводников
| Автор: | |
|---|---|
| Співавтор: | |
| Інші автори: | |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Ташкент, Фан, 1979
|
| Предмети: | |
| Формат: | Книга |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=368300 |