Легирование эпитаксиальных слоев полупроводников

Бібліографічні деталі
Автор:	Харченко В. В. Валерий Владимирович
Співавтор:	Академия наук Узбекской ССР
Інші автори:	Грейсух М. Р. Моисей Рувимович
Мова:	Російська
Опубліковано:	Ташкент, Фан, 1979
Предмети:	Полупроводниковые материалы > Параметры > Измерение эпитаксиальные слои легирование примеси диффузии расчеты
Формат:	Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=368300

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	368300
005	20231102012053.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\retro\25663
090			\|a 368300
100			\|a 20220406d1979 km y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a UZ
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Легирование эпитаксиальных слоев полупроводников \|f В. В. Харченко, М. Р. Грейсух \|g Академия наук Узбекской ССР
210			\|a Ташкент \|c Фан \|d 1979
215			\|a 124 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 115-121
606	1		\|a Полупроводниковые материалы \|x Параметры \|x Измерение \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50665 \|9 69316
610	1		\|a эпитаксиальные слои
610	1		\|a легирование
610	1		\|a примеси
610	1		\|a диффузии
610	1		\|a расчеты
675			\|a 621.315.592 \|v 4
700		1	\|a Харченко \|b В. В. \|g Валерий Владимирович
701		1	\|a Грейсух \|b М. Р. \|g Моисей Рувимович
712	0	2	\|a Академия наук Узбекской ССР \|c (Ташкент) \|c (1943-1991) \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\col\1343 \|9 23551
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20220406
942			\|c BK