Технология производства тонкопленочных гибридных интегральных микросхем: учебное пособие

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Мевис А. Ф.
Ente Autore:	Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (Технический университет)
Lingua:	russo
Pubblicazione:	Москва, Изд-во МИРЭА, 1979
Soggetti:	Схемотехника интегральная учебные пособия гибридные микросхемы тонкопленочные микросхемы производство технологии катодное распыление ионно-плазменное распыление атомарные потоки методы напыление тонкие пленки вакуумное оборудование
Natura:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=367204

Documenti analoghi