Технология производства тонкопленочных гибридных интегральных микросхем: учебное пособие

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Мевис А. Ф.
مؤلف مشترك:	Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (Технический университет)
اللغة:	الروسية
منشور في:	Москва, Изд-во МИРЭА, 1979
الموضوعات:	Схемотехника интегральная учебные пособия гибридные микросхемы тонкопленочные микросхемы производство технологии катодное распыление ионно-плазменное распыление атомарные потоки методы напыление тонкие пленки вакуумное оборудование
التنسيق:	كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=367204

مواد مشابهة