|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
367204 |
| 005 |
20231102011946.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\24567
|
| 090 |
|
|
|a 367204
|
| 100 |
|
|
|a 20220303d1979 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология производства тонкопленочных гибридных интегральных микросхем
|e учебное пособие
|f А. Ф. Мевис
|g Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (Технический университет)
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Изд-во МИРЭА
|d 1979
|
| 215 |
|
|
|a 124 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 122
|
| 606 |
1 |
|
|a Схемотехника интегральная
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\58367
|9 76160
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 610 |
1 |
|
|a гибридные микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a катодное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a атомарные потоки
|
| 610 |
1 |
|
|a методы
|
| 610 |
1 |
|
|a напыление
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумное оборудование
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77(075.8)
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Мевис
|b А. Ф.
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (Технический университет)
|c (1967-1993)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\119
|9 23205
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20220303
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
