|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
366259 |
| 005 |
20231102011850.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\23622
|
| 090 |
|
|
|a 366259
|
| 100 |
|
|
|a 20220203d1979 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Контроль в технологии микроэлектроники
|f В. М. Колешко, П. П. Гойденко, Л. Д. Буйко
|g Академия наук Белорусской ССР, Институт электроники
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Наука и техника
|d 1979
|
| 215 |
|
|
|a 312 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 293-310
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811
|9 63253
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a изготовление
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковая электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a МДП-структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхностные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a качество
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a автоматический контроль
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Колешко
|b В. М.
|g Владимир Михайлович
|
| 701 |
|
1 |
|a Гойденко
|b П. П.
|g Петр Петрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Буйко
|b Л. Д.
|g Лев Дмитриевич
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук Белорусской ССР
|b Институт электроники
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\7643
|9 24355
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20220203
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
