Контроль в технологии микроэлектроники

Bibliographic Details
Main Author:	Колешко В. М. Владимир Михайлович
Corporate Author:	Академия наук Белорусской ССР Институт электроники
Other Authors:	Гойденко П. П. Петр Петрович, Буйко Л. Д. Лев Дмитриевич
Language:	Russian
Published:	Минск, Наука и техника, 1979
Subjects:	технология изготовление полупроводниковая электроника параметры контроль МДП-структуры поверхностные слои качество интегральные микросхемы автоматический контроль
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=366259

Description
Physical Description:	312 с. ил.

Similar Items