MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 365114
005 20231102011744.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\retro\22477 
090 |a 365114 
100 |a 20211213d1981 km y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Ионно-лучевые установки  |f В. Ф. Попов 
210 |a Ленинград  |c Энергоиздат  |d 1981 
215 |a 136 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 132-135 
606 1 |a Электронно-лучевая обработка металлов  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\20387  |9 45496 
610 1 |a ионно-лучевые устройства 
610 1 |a ионное легирование 
610 1 |a ионная бомбардировка 
610 1 |a узлы 
610 1 |a узлы 
610 1 |a вакуумные системы 
675 |a 621.7.048.7  |v 4 
700 1 |a Попов  |b В. Ф.  |g Владимир Федорович 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20211213 
942 |c BK