|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
365114 |
| 005 |
20231102011744.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\22477
|
| 090 |
|
|
|a 365114
|
| 100 |
|
|
|a 20211213d1981 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Ионно-лучевые установки
|f В. Ф. Попов
|
| 210 |
|
|
|a Ленинград
|c Энергоиздат
|d 1981
|
| 215 |
|
|
|a 136 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 132-135
|
| 606 |
1 |
|
|a Электронно-лучевая обработка металлов
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\20387
|9 45496
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-лучевые устройства
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная бомбардировка
|
| 610 |
1 |
|
|a узлы
|
| 610 |
1 |
|
|a узлы
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумные системы
|
| 675 |
|
|
|a 621.7.048.7
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Попов
|b В. Ф.
|g Владимир Федорович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20211213
|
| 942 |
|
|
|c BK
|