|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
364650 |
| 005 |
20231102011717.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\22008
|
| 090 |
|
|
|a 364650
|
| 100 |
|
|
|a 20211123d1981 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС
|f О. П. Глудкин, А. Е. Густов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1981
|
| 215 |
|
|
|a 112 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Массовая библиотека инженера "Электроника"
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 105-108
|
| 606 |
1 |
|
|a Интегральные схемы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\12775
|9 39495
|
| 610 |
1 |
|
|a фотометрические методы
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a устройства
|
| 610 |
1 |
|
|a фотоприемники
|
| 610 |
1 |
|
|a толщина
|
| 610 |
1 |
|
|a измерение
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77*
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Глудкин
|b О. П.
|g Олег Павлович
|
| 701 |
|
1 |
|a Густов
|b А. Е.
|g Александр Евгеньевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20211123
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
