|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
363583 |
| 005 |
20231102011614.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\20930
|
| 090 |
|
|
|a 363583
|
| 100 |
|
|
|a 20211005d1981 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Репродукционная эпитаксия
|f В. Н. Маслов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Металлургия
|d 1981
|
| 215 |
|
|
|a 200 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 181-186
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводники
|x Производство
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50584
|9 69237
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a неоднородный состав
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a методы
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксия
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые кристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a состав
|
| 610 |
1 |
|
|a выращивание
|
| 610 |
1 |
|
|a газовая фаза
|
| 610 |
1 |
|
|a варизонные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592.002
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Маслов
|b В. Н.
|g Вадим Николаевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20211005
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20211014
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
