Основы полупроводниковой микроэлектроники: учебное пособие для среднего профессионально-технического образования

Bibliografiset tiedot
Päätekijä:	Курносов А. И. Анатолий Иванович
Muut tekijät:	Брук В. А. Вадим Аркадьевич
Kieli:	venäjä
Julkaistu:	Москва, Высшая школа, 1980
Sarja:	Профтехобразование. Полупроводниковая техника
Aiheet:	Микроэлектроника полупроводниковая интегральные схемы подложки полупроводниковые материалы изоляционные материалы механическая обработка химическая обработка двуокись кремния защитные маскирующие пленки получение фотошаблоны фотолитография диффузионное легирование полупроводниковые слои эпитаксиальное осаждение ионное легирование осаждение в вакууме лазерная техника активные элементы пассивные элементы сборка кристаллы герметизация учебные пособия
Aineistotyyppi:	Kirja
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=362120

Samankaltaisia teoksia