Основы полупроводниковой микроэлектроники: учебное пособие для среднего профессионально-технического образования

Bibliographic Details
Main Author:	Курносов А. И. Анатолий Иванович
Other Authors:	Брук В. А. Вадим Аркадьевич
Language:	Russian
Published:	Москва, Высшая школа, 1980
Series:	Профтехобразование. Полупроводниковая техника
Subjects:	Микроэлектроника полупроводниковая интегральные схемы подложки полупроводниковые материалы изоляционные материалы механическая обработка химическая обработка двуокись кремния защитные маскирующие пленки получение фотошаблоны фотолитография диффузионное легирование полупроводниковые слои эпитаксиальное осаждение ионное легирование осаждение в вакууме лазерная техника активные элементы пассивные элементы сборка кристаллы герметизация учебные пособия
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=362120

Description
Physical Description:	296 с. ил.

Similar Items