|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
361864 |
| 005 |
20231102011430.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\19210
|
| 090 |
|
|
|a 361864
|
| 100 |
|
|
|a 20210706d1980 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Биполярные интегральные схемы с диэлектрической изоляцией
|f В. И. Никишин, В. Ф. Сыноров, А. П. Тарасов
|
| 210 |
|
|
|a Воронеж
|c Изд-во Воронежского гос. ун-та
|d 1980
|
| 215 |
|
|
|a 168 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 162-166
|
| 606 |
1 |
|
|a Интегральные схемы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\12775
|9 39495
|
| 610 |
1 |
|
|a изоляция
|
| 610 |
1 |
|
|a изготовление
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические маршруты
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a химико-механическая обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a сборка
|
| 610 |
1 |
|
|a параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a измерение
|
| 610 |
1 |
|
|a испытание
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Никишин
|b В. И.
|g Валерий Иванович
|
| 701 |
|
1 |
|a Сыноров
|b В. Ф.
|g Владимир Федорович
|
| 701 |
|
1 |
|a Тарасов
|b А. П.
|g Анатолий Платонович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20210706
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
