Технология размерной обработки полупроводниковых материалов: учебное пособие

Détails bibliographiques
Collectivité auteur:	Куйбышевский государственный университет
Autres auteurs:	Комов А. Н., Колпаков А. И., Рафаевич Б. Д., Дорофеева Л. Л.
Langue:	russe
Publié:	Куйбышев, Куйбышевский государственный университет, 1976
Sujets:	Полупроводники > Производство полупроводниковые материалы механическая обработка химические методы физические методы плазмохимические методы электрофизические методы размерная обработка плазменная технология лазерная обработка учебные пособия
Format:	Livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=356745

Documents similaires