Технология размерной обработки полупроводниковых материалов: учебное пособие

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلف مشترك:	Куйбышевский государственный университет
مؤلفون آخرون:	Комов А. Н., Колпаков А. И., Рафаевич Б. Д., Дорофеева Л. Л.
اللغة:	الروسية
منشور في:	Куйбышев, Куйбышевский государственный университет, 1976
الموضوعات:	Полупроводники > Производство полупроводниковые материалы механическая обработка химические методы физические методы плазмохимические методы электрофизические методы размерная обработка плазменная технология лазерная обработка учебные пособия
التنسيق:	كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=356745

مواد مشابهة