|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
356745 |
| 005 |
20231102010925.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\14005
|
| 090 |
|
|
|a 356745
|
| 100 |
|
|
|a 20200723d1976 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология размерной обработки полупроводниковых материалов
|e учебное пособие
|f А. Н. Комов, А. И. Колпаков, Б. Д. Рафаевич, Л. Л. Дорофеева
|g Куйбышевский государственный университет
|
| 210 |
|
|
|a Куйбышев
|c Куйбышевский государственный университет
|d 1976
|
| 215 |
|
|
|a 84 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 81-82
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводники
|x Производство
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50584
|9 69237
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a механическая обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a химические методы
|
| 610 |
1 |
|
|a физические методы
|
| 610 |
1 |
|
|a плазмохимические методы
|
| 610 |
1 |
|
|a электрофизические методы
|
| 610 |
1 |
|
|a размерная обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменная технология
|
| 610 |
1 |
|
|a лазерная обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592.002(075.8)
|v 4
|
| 701 |
|
1 |
|a Комов
|b А. Н.
|
| 701 |
|
1 |
|a Колпаков
|b А. И.
|
| 701 |
|
1 |
|a Рафаевич
|b Б. Д.
|
| 701 |
|
1 |
|a Дорофеева
|b Л. Л.
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Куйбышевский государственный университет
|c (1966-1991)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\9904
|9 24761
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20200723
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20210127
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
