Технология размерной обработки полупроводниковых материалов: учебное пособие

Технология размерной обработки полупроводниковых материалов: учебное пособие

Dettagli Bibliografici
Ente Autore: Куйбышевский государственный университет
Altri autori: Комов А. Н., Колпаков А. И., Рафаевич Б. Д., Дорофеева Л. Л.
Lingua:russo
Pubblicazione: Куйбышев, Куйбышевский государственный университет, 1976
Soggetti:
Полупроводники > Производство
полупроводниковые материалы
механическая обработка
химические методы
физические методы
плазмохимические методы
электрофизические методы
размерная обработка
плазменная технология
лазерная обработка
учебные пособия
Natura: Libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=356745
Descrizione
Descrizione fisica:84 с. ил.

Documenti analoghi