|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
346608 |
| 005 |
20231102005914.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\378491
|
| 090 |
|
|
|a 346608
|
| 100 |
|
|
|a 20211027d2021 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a dm 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Особенности формирования AIN на подложке сапфира в процессе нитридизации методом молекулярно-лучевой эпитаксии
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
|e спец. 01.04.10
|f Д. С. Милахин
|g Российская академия наук, Сибирское отделение, Институт физики полупроводников ; науч. рук. К. С. Журавлев
|
| 210 |
|
|
|a Новосибирск
|c [Б. и.]
|d 2021
|
| 215 |
|
|
|a 32 с.
|c ил.
|
| 300 |
|
|
|a Защита сост. 06.07.2021 г.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 29-32 (32 назв.)
|
| 606 |
1 |
|
|a Пленки эпитаксиальные
|x Получение
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\49240
|9 68041
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a сапфировые подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a гетероструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a молекулярно-лучевая эпитаксия
|
| 610 |
1 |
|
|a нитридизация
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 675 |
|
|
|a 539.23(04)
|v 4
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.10
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Милахин
|b Д. С.
|g Денис Сергеевич
|
| 702 |
|
1 |
|a Журавлев
|b К. С.
|g Константин Сергеевич
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Российская академия наук
|b Сибирское отделение
|b Институт физики полупроводников
|c (Новосибирск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\197
|9 23267
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20211027
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20211203
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
