Особенности формирования AIN на подложке сапфира в процессе нитридизации методом молекулярно-лучевой эпитаксии, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Милахин Д. С. Денис Сергеевич
Corporate Author:	Российская академия наук Сибирское отделение Институт физики полупроводников
Other Authors:	Журавлев К. С. Константин Сергеевич (727)
Summary:	Защита сост. 06.07.2021 г.
Published:	Новосибирск, [Б. и.], 2021
Subjects:	физика полупроводниковые пленки подложки сапфировые подложки гетероструктуры молекулярно-лучевая эпитаксия нитридизация авторефераты диссертаций
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=346608

Description
Physical Description:	32 с. ил.
Summary:	Защита сост. 06.07.2021 г.

Similar Items