|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
344201 |
| 005 |
20231102005635.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785020402010
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\375470
|
| 090 |
|
|
|a 344201
|
| 100 |
|
|
|a 20200114d2019 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Нанотехнологии в микроэлектронике
|f Южный федеральный университет, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения, Научно-образовательный центр "Нанотехнологии" ; под ред. О. А. Агеева, Б. Г. Коноплева
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 2019
|
| 215 |
|
|
|a 511 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце глав
|
| 330 |
|
|
|a В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных устройств новых поколений информационно-телекоммуникационных систем. Рассмотрены возможности практического применения методов проектирования и изготоатения сверхбыстродействующих интегральных элементов СБИС и УБИС, многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, устройств нанопьезотроники, микроэлектронной сенсорики, нейроморфных систем и вакуумной микроэлектроники на основе использования перспективных методов нанотехнологии: молекулярно-лучевой эпитаксии, импульсного лазерного осаждения, плазмохимического осаждения из газовой фазы, сканирующей зондовой микроскопии и зондовой нанолитографии, фокусированных ионных пучков, электронно-лучевой обработки, а также перспективных методов планарной технологии поверхностной обработки. Для научных работников и инженеров, специализирующихся в области применения нанотехнологии в микроэлектронике, а также для студентов и аспирантов соответствующего профиля.
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811
|9 63253
|
| 610 |
1 |
|
|a углеродные нанотрубки
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a методы
|
| 610 |
1 |
|
|a плазмохимическое осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a нанодиагностика
|
| 610 |
1 |
|
|a сканирующая зондовая микроскопия
|
| 610 |
1 |
|
|a нанопьезотроника
|
| 610 |
1 |
|
|a наноэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a самоорганизующиеся наноструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a формирование
|
| 610 |
1 |
|
|a метод молекулярно-лучевой эпитаксии
|
| 610 |
1 |
|
|a нанокристаллические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a импульсное лазерное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a профилирование
|
| 610 |
1 |
|
|a фокусированные ионные пучки
|
| 610 |
1 |
|
|a титан
|
| 610 |
1 |
|
|a оксидные наноразмерные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a мемристорный эффект
|
| 610 |
1 |
|
|a карбид кремния
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллические подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a атомарно-гладкие поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a полимерные нанокомпозиты
|
| 610 |
1 |
|
|a электропроводность
|
| 610 |
1 |
|
|a автоэмиссионные наноструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a сверхбыстродействующие интегральные элементы
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|v 4
|
| 702 |
|
1 |
|a Агеев
|b О. А.
|g Олег Алексеевич
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Коноплев
|b Б. Г.
|g Борис Георгиевич
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Южный федеральный университет
|b Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения
|b Научно-образовательный центр "Нанотехнологии"
|c (Ростов-на-Дону)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\27001
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20200114
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20200207
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
