Южный федеральный университет Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения Научно-образовательный центр "Нанотехнологии", Агеев О. А. Олег Алексеевич, & Коноплев Б. Г. Борис Георгиевич. (2019). Нанотехнологии в микроэлектронике. Москва, Наука, 2019.
Chicago Style (17th ed.) CitationЮжный федеральный университет Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения Научно-образовательный центр "Нанотехнологии", Агеев О. А. Олег Алексеевич, and Коноплев Б. Г. Борис Георгиевич. Нанотехнологии в микроэлектронике. Москва, Наука, 2019, 2019.
MLA (9th ed.) CitationЮжный федеральный университет Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения Научно-образовательный центр "Нанотехнологии", et al. Нанотехнологии в микроэлектронике. Москва, Наука, 2019, 2019.