Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.20

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Шевелев А. Э. Алексей Эдуардович
Körperschaft: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научная лаборатория высокоинтенсивной имплантации ионов
Weitere Verfasser: Рябчиков А. И. Александр Ильич (научный руководитель)
Zusammenfassung:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
Защита сост. 27.06.2019 г.
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Томск, 2019
Schlagworte:
Online-Zugang:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/53313
Format: MixedMaterials Elektronisch Buch
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342919

MARC

LEADER 00000nlm0a2200000 4500
001 342919
005 20231102005513.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\372430 
035 |a RU\TPU\book\372428 
090 |a 342919 
100 |a 20190516d2019 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a m 000zy 
135 |a drcn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги  |b Электронный ресурс  |e диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  |e спец. 01.04.20  |f А. Э. Шевелев  |g Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. А. И. Рябчиков 
203 |a Текст  |c электронный 
210 |a Томск  |d 2019 
215 |a 1 файл (6 301 КБ) 
230 |a Электронные текстовые данные (1 файл : 6 301 КБ) 
300 |a Заглавие с титульного экрана 
300 |a Электронная версия печатной публикации 
300 |a Защита сост. 27.06.2019 г. 
606 1 |a Ионы  |x Взаимодействие с поверхностью твердых тел  |y (физика твердого тела)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\39302  |9 59449 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a диссертации 
610 1 |a формирование 
610 1 |a высокоинтенсивные пучки 
610 1 |a ионы металлов 
610 1 |a низкие энергии 
610 1 |a плазма 
610 1 |a вакуумные дуги 
610 1 |a заряженные частицы 
610 1 |a ионная имплантация 
610 1 |a элементный состав 
610 1 |a приповерхностные слои 
610 1 |a плазменно-иммерсионное формирование 
610 1 |a вакуумно-дуговые разряды 
610 1 |a транспортировка 
610 1 |a фокусировка 
610 1 |a вакуумно-дуговая плазма 
610 1 |a низкие энергии 
610 1 |a практическое применение 
675 |a 539.2:539.1(04)  |v 4 
686 |a 01.04.20  |2 oksvnk 
700 1 |a Шевелев  |b А. Э.  |c физик  |c инженер Томского политехнического университета  |f 1990-  |g Алексей Эдуардович  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\36831 
702 1 |a Рябчиков  |b А. И.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1950-  |g Александр Ильич  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22006  |4 727 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет  |b Инженерная школа ядерных технологий  |b Научная лаборатория высокоинтенсивной имплантации ионов  |h 7868  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23698 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20190522  |g RCR 
856 4 |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/53313 
942 |c CF