Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Autor Corporativo:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Otros Autores:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (научный руководитель)
Sumario:	Защита сост. 05.12.2018 г.
Lenguaje:	ruso
Publicado:	Томск, [Б. и.], 2018
Materias:	Тонкопленочные покрытия металлические покрытия осаждение в плазме плазма магнетронные распылительные системы экспериментальные ионно-плазменные установки магнетронные диоды металлические мишени хром хромовые покрытия никель никелевые покрытия структурные свойства функциональные свойства авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342137

Ejemplares similares