Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Andre forfattere:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (научный руководитель)
Summary:	Защищена 05.12.2018 г.
Sprog:	russisk
Udgivet:	Томск, [Б. и.], 2018
Fag:	Тонкопленочные покрытия металлические покрытия осаждение в плазме плазма магнетронные распылительные системы экспериментальные ионно-плазменные установки магнетронные диоды металлические мишени хром хромовые покрытия никель никелевые покрытия структурные свойства функциональные свойства диссертации труды учёных ТПУ
Format:	Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342136

Lignende værker