Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Körperschaft:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Weitere Verfasser:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (научный руководитель)
Zusammenfassung:	Защищена 05.12.2018 г.
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Томск, [Б. и.], 2018
Schlagworte:	Тонкопленочные покрытия металлические покрытия осаждение в плазме плазма магнетронные распылительные системы экспериментальные ионно-плазменные установки магнетронные диоды металлические мишени хром хромовые покрытия никель никелевые покрытия структурные свойства функциональные свойства диссертации труды учёных ТПУ
Format:	MixedMaterials Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342136

Ähnliche Einträge