|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
342136 |
| 005 |
20240215094648.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\370722
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\370723
|
| 090 |
|
|
|a 342136
|
| 100 |
|
|
|a 20181213j20181205k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a m 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью
|e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|e спец. 01.04.07
|f Д. В. Сиделёв
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. В. П. Кривобоков
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|c [Б. и.]
|d 2018
|
| 215 |
|
|
|a 138 л.
|c ил.
|
| 300 |
|
|
|a Защищена 05.12.2018 г.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 125-138 (131 назв.)
|
| 320 |
|
|
|a Словарь терминов: с. 123
|
| 452 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\369607
|t Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью
|o диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|o спец. 01.04.07
|f Д. В. Сиделёв
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. В. П. Кривобоков
|c Томск
|d 2018
|a Сиделёв, Дмитрий Владимирович
|
| 606 |
1 |
|
|a Тонкопленочные покрытия
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\75631
|9 87320
|
| 610 |
1 |
|
|a металлические покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение в плазме
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение в плазме
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные распылительные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a экспериментальные ионно-плазменные установки
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные диоды
|
| 610 |
1 |
|
|a металлические мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a хром
|
| 610 |
1 |
|
|a хромовые покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a никель
|
| 610 |
1 |
|
|a никелевые покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a структурные свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a функциональные свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a диссертации
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 675 |
|
|
|a 621.793.1:539.216.2(04)
|v 4
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Сиделёв
|b Д. В.
|c физик
|c инженер кафедры Томского политехнического университета
|f 1991-
|g Дмитрий Владимирович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34510
|9 17891
|
| 702 |
|
1 |
|a Кривобоков
|b В. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1948-
|g Валерий Павлович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971
|4 727
|9 9290
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|c (2009- )
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20181213
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190206
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
