Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Institution som forfatter: Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
Andre forfattere: Соловьёв А. А. Андрей Александрович (научный руководитель)
Summary:Защищена 12.12.2018 г.
Sprog:russisk
Udgivet: Томск, [Б. и.], 2018
Fag:
Format: Bog
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342126