Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Detalles Bibliográficos
Autor Principal:	Шипилова А. В. Анна Викторовна
Autor Corporativo:	Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
Outros autores:	Соловьёв А. А. Андрей Александрович (научный руководитель)
Summary:	Защищена 12.12.2018 г.
Idioma:	ruso
Publicado:	Томск, [Б. и.], 2018
Subjects:	Электрохимия прикладная тонкопленочные топливные элементы твердооксидные топливные элементы многослойные структуры изготовление экспериментальные установки тонкие пленки формирование магнетронное осаждение пористые анодно-оксидные покрытия электронно-ионно-плазменные методы диссертации труды учёных ТПУ
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342126

Títulos similares