Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Institutionell upphovsman: Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
Övriga upphovsmän: Соловьёв А. А. Андрей Александрович (научный руководитель)
Sammanfattning:Защищена 12.12.2018 г.
Språk:ryska
Publicerad: Томск, [Б. и.], 2018
Ämnen:
Электрохимия прикладная
тонкопленочные топливные элементы
твердооксидные топливные элементы
многослойные структуры
изготовление
экспериментальные установки
тонкие пленки
формирование
магнетронное осаждение
пористые анодно-оксидные покрытия
электронно-ионно-плазменные методы
диссертации
труды учёных ТПУ
Materialtyp: Bok
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342126

Liknande verk