|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
342126 |
| 005 |
20231102005423.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\370695
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\370696
|
| 090 |
|
|
|a 342126
|
| 100 |
|
|
|a 20181212j20181212k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a m 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления
|e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|e спец. 01.04.07
|f А. В. Шипилова
|g Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; науч. рук. А. А. Соловьёв
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|c [Б. и.]
|d 2018
|
| 215 |
|
|
|a 180 л.
|c ил.
|
| 300 |
|
|
|a Защищена 12.12.2018 г.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 163-180 (218 назв.)
|
| 320 |
|
|
|a Список сокращений и условных обозначений: с. 161-162
|
| 452 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\369682
|t Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления
|o диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|o спец. 01.04.07
|f А. В. Шипилова
|g Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; науч. рук. А. А. Соловьев
|c Томск
|d 2018
|a Шипилова, Анна Викторовна
|
| 606 |
1 |
|
|a Электрохимия прикладная
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\21017
|9 46069
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные топливные элементы
|
| 610 |
1 |
|
|a твердооксидные топливные элементы
|
| 610 |
1 |
|
|a многослойные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a изготовление
|
| 610 |
1 |
|
|a экспериментальные установки
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a формирование
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a пористые анодно-оксидные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a электронно-ионно-плазменные методы
|
| 610 |
1 |
|
|a диссертации
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 675 |
|
|
|a 621.35(04)
|v 4
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Шипилова
|b А. В.
|c специалист в области водородной энергетики
|c научный сотрудник Томского политехнического университета
|f 1982-
|g Анна Викторовна
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30709
|
| 702 |
|
1 |
|a Соловьёв
|b А. А.
|c специалист в области водородной энергетики
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1977-
|g Андрей Александрович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28694
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Российская академия наук (РАН)
|b Сибирское отделение (СО)
|b Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
|c (Томск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\1124
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20181212
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20191125
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
