Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления, диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Шипилова А. В. Анна Викторовна
Autor Corporativo:	Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
Otros Autores:	Соловьёв А. А. Андрей Александрович (727)
Sumario:	Защищена 12.12.2018 г.
Publicado:	Томск, [Б. и.], 2018
Materias:	тонкопленочные топливные элементы твердооксидные топливные элементы многослойные структуры изготовление экспериментальные установки тонкие пленки формирование магнетронное осаждение пористые анодно-оксидные покрытия электронно-ионно-плазменные методы диссертации труды учёных ТПУ
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342126

Descripción
Descripción Física:	180 л. ил.
Sumario:	Защищена 12.12.2018 г.

Ejemplares similares