|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
341567 |
| 005 |
20231102005346.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\369666
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\369664
|
| 090 |
|
|
|a 341567
|
| 100 |
|
|
|a 20181016d2018 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a dm 000zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления
|b Электронный ресурс
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|e спец. 01.04.07
|f А. В. Шипилова
|g Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; науч. рук. А. А. Соловьев
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 2018
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл (1 264 KB)
|
| 230 |
|
|
|a Электронные текстовые данные (1 файл : 1 264 KB)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 300 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 452 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\370696
|t Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления
|o автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|o спец. 01.04.07
|f А. В. Шипилова
|g Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; науч. рук. А. А. Соловьёв
|c Томск
|n [Б. и.]
|d 2018
|p 22 с.
|a Шипилова, Анна Викторовна
|
| 606 |
1 |
|
|a Электрохимия прикладная
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\21017
|9 46069
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 610 |
1 |
|
|a структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a электролиты
|
| 610 |
1 |
|
|a топливные элементы
|
| 610 |
1 |
|
|a распылительные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a аноды
|
| 610 |
1 |
|
|a приповерхностные слои
|
| 675 |
|
|
|a 621.35(04)
|v 4
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Шипилова
|b А. В.
|c специалист в области водородной энергетики
|c научный сотрудник Томского политехнического университета
|f 1982-
|g Анна Викторовна
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30709
|
| 702 |
|
1 |
|a Соловьёв
|b А. А.
|c специалист в области водородной энергетики
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1977-
|g Андрей Александрович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28694
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Российская академия наук (РАН)
|b Сибирское отделение (СО)
|b Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
|c (Томск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\1124
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20191125
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52833
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
