Технологии электронной компонентной базы: учебное пособие

Технологии электронной компонентной базы: учебное пособие

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Хорин И. А. Иван Анатольевич
الملخص:	В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии "Кремний на изоляторе" и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника".
اللغة:	الروسية
منشور في:	Саратов, Ай Пи Эр Медиа, 2018
سلاسل:	Университетский учебник
الموضوعات:	Компонентная база > Электроника чистые помещения кремний микроэлектроника объемные монокристаллы выращивание чистые полупроводниковые материалы получение легирование монокристаллические пленки монокристаллические подложки подготовка технохимические процессы литографические процессы оптическая литография наноструктура травление оксидные пленки оксид кремния нитрид кремния толстопленочная технология тонкие пленки осаждение в вакууме осаждение из газовой фазы микросхемы сборка СБИС изготовление учебные пособия
التنسيق:	كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=341207

مواد مشابهة

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
منشور في: (2011)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
حسب: Родионов Ю. А.
منشور في: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Нанотехнологии в микроэлектронике
منشور في: (Москва, Наука, 2019)

О магнитном поле, действующем на движущиеся доменные стенки в плёнках феррит-граната (Bi, Yb)3(Fe, Ga)5O12; Письма в Журнал технической физики; Т. 28, вып. 14
منشور في: (2002)

Экспериментальные свидетельства магнитно-двухфазного состояния в тонких эпитаксиальных пленках [Re0.6Ba0.4MnO3] (Re=La, Pr, Nd, Gd); Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 125, вып. 3
منشور في: (2004)

Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
حسب: Смирнова К. И.
منشور في: (Томск, 1971)

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
حسب: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
منشور في: (Москва, Высшая школа, 1987)

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
حسب: Васильев В. Ю.
منشور في: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Монокристаллические пленки: доклады Международной конференции, 1963 г., г. Блю Белл (США)
منشور في: (Москва, Мир, 1966)

Методы визуализации магнитного поля с помощью монокристаличеких пленок ферритов-гранатов; Дефектоскопия; № 3
حسب: Гобов Ю. Л.
منشور في: (2003)

Исследование морфологии и спектральных свойств гетерокомпозиций GESI/SI, полученных методом молекулярно-лучевой эпитаксии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 01.04.15
حسب: Лапин В. А. Вячеслав Анатольевич
منشور في: (Нальчик, 2013)

Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров: учебник
حسب: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
منشور في: (Москва, Радио и связь, 1987)

Эпитаксиальные пленки на основе гадолиний-галлиевого граната как перспективный магнитооптический и оптически-активный материал; Наукоемкие технологии; № 11
حسب: Рандошкин В. В.
منشور في: (2004)

Positron Annihilation Study of Vacancy-Type Defects in Al Single Crystal Foils with the Tweed Structures Across the Surface; AIP Conference Proceedings; Vol. 1683 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures
منشور في: (2015)

Основы полупроводниковой микроэлектроники: учебное пособие для среднего профессионально-технического образования
حسب: Курносов А. И. Анатолий Иванович
منشور في: (Москва, Высшая школа, 1980)

Т. 2; Технология тонких пленок
منشور في: (1977)

Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; Спец. 01.04.07
حسب: Тарала В. А. Виталий Алексеевич
منشور في: (Нальчик, 2013)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
حسب: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
منشور في: (Томск, 2023)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
حسب: Данилин Б. С. Борис Степанович
منشور في: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
حسب: Королев М. А. Михаил Александрович
منشور في: (2009)

The dynamic sublayers for improving the adhesion of CVD diamond films on copper; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016
حسب: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
منشور في: (2017)

Свойства пленок двуокиси кремния, полученных электронно - плазменным методом: Отчет о НИР; Тема : № х/д № 113/67
منشور في: (Томск, 1970)

Технология изделий микроэлектроники учебное пособие
حسب: Рыбин Н. Б.
منشور في: (Рязань, РГРТУ, 2023)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
حسب: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
منشور في: (2011)

Кн. 1; Технология СБИС
منشور في: (1986)

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
حسب: Васильев В. Ю.
منشور في: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
حسب: Берлин Е. В.
منشور في: (Москва, Техносфера, 2018)

Полупроводниковые плёнки InP полученные методом импульсного ионного осаждения; Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники)
منشور في: (2007)

Т. 1; Технология тонких пленок
منشور في: (1977)

Ч. 2; Микролитография: принципы, методы, материалы
منشور في: (1990)

Самоформирование: теория и применение: тезисы III республиканского семинара, Вильнюс, 26-27 мая 1987 г.
منشور في: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)

Structure and Phase Composition of Multilayer AlN/SiN Films Irradiated with Helium Ions; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 12, iss. 6
منشور في: (2018)

Система кремний - двуокись кремния в МОП-структурах
حسب: Румак Н. В. Николай Владимирович
منشور في: (Минск, Наука и техника, 1986)

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
حسب: Киселева Д. В.
منشور في: (2015)

Магнитные металлические пленки в микроэлектронике
حسب: Иванов Р. Д. Роберт Дмитриевич
منشور في: (Москва, Советское радио, 1980)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
حسب: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
منشور في: (Томск, 1998)

Применение состава остаточных газов в вакуумной камере в процессе осаждения плёнки Ti; Приборы и техника эксперимента; № 3
حسب: Перекрестов В. И.
منشور في: (2002)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы: учебник для бакалавриата и магистратуры
منشور في: (Москва, Юрайт, 2016)

Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
منشور في: (2016)

Materials science and technologies of modern advanced materials : practical course
حسب: Shevchenko I. M.
منشور في: (Ставрополь, СКФУ, 2022)