|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
341207 |
| 005 |
20231102005324.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785448602108
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\368704
|
| 090 |
|
|
|a 341207
|
| 100 |
|
|
|a 20180705d2018 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технологии электронной компонентной базы
|e учебное пособие
|f И. А. Хорин
|
| 210 |
|
|
|a Саратов
|c Ай Пи Эр Медиа
|d 2018
|
| 215 |
|
|
|a 278 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Университетский учебник
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 275-276
|
| 330 |
|
|
|a В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии "Кремний на изоляторе" и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника".
|
| 606 |
1 |
|
|a Компонентная база
|x Электроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\77543
|9 87744
|
| 610 |
1 |
|
|a чистые помещения
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a объемные монокристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a выращивание
|
| 610 |
1 |
|
|a чистые полупроводниковые материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллические подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a подготовка
|
| 610 |
1 |
|
|a технохимические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a литографические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a оптическая литография
|
| 610 |
1 |
|
|a наноструктура
|
| 610 |
1 |
|
|a травление
|
| 610 |
1 |
|
|a оксидные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a оксид кремния
|
| 610 |
1 |
|
|a нитрид кремния
|
| 610 |
1 |
|
|a толстопленочная технология
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение в вакууме
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение из газовой фазы
|
| 610 |
1 |
|
|a микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a сборка
|
| 610 |
1 |
|
|a СБИС
|
| 610 |
1 |
|
|a изготовление
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.7(075.8)
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Хорин
|b И. А.
|g Иван Анатольевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20180705
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190902
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 6/20190619
|d 1
|e 630,00
|f УФ:1
|
