Технологии электронной компонентной базы, учебное пособие
| Egile nagusia: | |
|---|---|
| Gaia: | В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии "Кремний на изоляторе" и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника". |
| Hizkuntza: | errusiera |
| Argitaratua: |
Саратов, Ай Пи Эр Медиа, 2018
|
| Saila: | Университетский учебник |
| Gaiak: | |
| Formatua: | Liburua |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=341207 |
| Deskribapen fisikoa: | 278 с. ил. |
|---|---|
| Gaia: | В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии "Кремний на изоляторе" и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника". |
| ISBN: | 9785448602108 |