|
|
|
|
| LEADER |
00000nam2a2200000 4500 |
| 001 |
336942 |
| 005 |
20231102004913.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 81-9328ж
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\363403
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\341044
|
| 090 |
|
|
|a 336942
|
| 100 |
|
|
|a 20171026d1979 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a UA
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
0 |
|
|a Вып. 29
|f отв. ред. С. В. Свечников
|
| 210 |
|
|
|d 1979
|
| 215 |
|
|
|a 102 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статьи
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\329848
|t Полупроводниковая техника и микроэлектроника
|o республиканский межведомственный сборник
|f Академия наук Украинской ССР (АН УССР)
|v Вып. 29
|d 1966-1981
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковая техника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50662
|9 69313
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811
|9 63253
|
| 610 |
1 |
|
|a оптоэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a физические аспекты
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-технологические аспекты
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a пленочные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a приборы
|
| 610 |
1 |
|
|a нейтронное облучение
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a рентгеновское излучение
|
| 675 |
|
|
|a 621.382
|z rus
|v 4
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|z rus
|v 4
|
| 702 |
|
1 |
|a Свечников
|b С. В.
|g Сергей Васильевич
|4 340
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20151030
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20181024
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
