Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07 - Юрьева А. В. Алена Викторовна (Томск, 2017)
Заглавие с титульного экрана