MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 335673
005 20231102004757.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\362084 
090 |a 335673 
100 |a 20170929d1978 k y0engy50 ba 
101 0 |a eng 
102 |a AT 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a A complex of spectrochemical, mass-spectrometric and atomic-absorption methods for the analysis of thin layers of gallium arsenide and silicon semiconductors  |e [offprint]  |f I. G. Yudelevich, I. P. Shelpakova 
210 |a Vienna  |c Springer-Verlag  |d 1978 
215 |a 10 p.  |c il. 
225 1 |a Mikrochimica Acta  |v № 1, 1978 
320 |a Bibliography at the end of articles 
606 1 |a Спектральный анализ, атомно-абсорбционный  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\73702  |9 86547 
610 1 |a аналитическая химия 
610 1 |a анализ 
610 1 |a методы 
610 1 |a полупроводники 
610 1 |a химическое травление 
610 1 |a травильные растворы 
610 1 |a арсенид галлия 
610 1 |a английский язык 
610 1 |a библиотека А. Г. Стромберга 
675 |a 543.422  |v 4 
700 1 |a Yudelevich  |b I. G. 
701 1 |a Shelpakova  |b I. P. 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20170929 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20180112  |g RCR 
942 |c BK