MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 335212
005 20231102004730.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\361574 
090 |a 335212 
100 |a 20170918d1969 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Использование окислов РЗМ в пленочной электронике  |f В. Ф. Воронов [и др.] 
210 |a Москва  |c ЦНИИ Электроника  |d 1969 
215 |a 4 с.  |c ил. 
225 1 |a Информационно-справочный листок  |v № 784 
225 1 |a Полупроводниковые приборы 
320 |a Библиогр.: с. 4 
606 1 |a Электронное материаловедение  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\20416  |9 45522 
610 1 |a электронные материалы 
610 1 |a пленочная изоляция 
610 1 |a пленочная электроника 
610 1 |a электронные приборы 
610 1 |a применение 
610 1 |a экспериментальные исследования 
610 1 |a методика 
610 1 |a окислы 
610 1 |a пленки 
610 1 |a структурные исследования 
610 1 |a электрофизические свойства 
610 1 |a пленочные конденсаторы 
610 1 |a окись кремния 
610 1 |a библиотека А. Г. Стромберга 
675 |a 621.38.002.3  |v 4 
701 1 |a Воронов  |b В. Ф. 
701 1 |a Кутолин  |b С. А.  |c доктор химических наук, профессор  |f 1940-  |g Сергей Алексеевич  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\29408  |9 13976 
701 1 |a Мадина  |b Г. С. 
701 1 |a Штыров  |b В. П. 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20170918 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20171208  |g RCR 
942 |c BK