Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07 - Киселева Е. С. Евгения Сергеевна (Томск, 2016)
Заглавие с титульного экрана