MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 326603
005 20231102003858.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\352263 
090 |a 326603 
100 |a 20170111d1977 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Физическая электроника  |e [сборник трудов]  |f Ленинградский политехнический институт им. М. И. Калинина (ЛПИ) 
210 |a Ленинград  |c Изд-во ЛПИ  |d 1977 
215 |a 124 с.  |c ил. 
225 1 |a Труды Ленинградского политехнического института им. М. И. Калинина (ЛПИ)  |v № 356 
320 |a Библиография в конце статей 
606 1 |a Электроника физическая  |x (физика)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\20347  |9 45456 
610 1 |a твердые тела 
610 1 |a поверхность 
610 1 |a состав 
610 1 |a структура 
610 1 |a анализ 
610 1 |a эмиссионная электроника 
610 1 |a микроэлектроника 
610 1 |a электронное облучение 
610 1 |a ионное облучение 
610 1 |a ионная имплантация 
610 1 |a тонкопленочные покрытия 
610 1 |a адсорбированные слои 
610 1 |a Оже-спектры 
610 1 |a формирование 
610 1 |a вторично-эмиссионные эмиттеры 
610 1 |a подложки 
610 1 |a СВЧ-поле 
675 |a 537.5  |v 4 
712 0 2 |a Ленинградский политехнический институт им. М. И. Калинина (ЛПИ)  |c (1924-1930, 1940-1990)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\2601 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20170111 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20170113  |g RCR 
942 |c BK