Киселева Е. С. Евгения Сергеевна & Никитенков Н. Н. Николай Николаевич. (2016). Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. Томск, [Б. и.], 2016.
Chicago Style (17th ed.) CitationКиселева Е. С. Евгения Сергеевна and Никитенков Н. Н. Николай Николаевич. Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. Томск, [Б. и.], 2016, 2016.
MLA citiranjeКиселева Е. С. Евгения Сергеевна and Никитенков Н. Н. Николай Николаевич. Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. Томск, [Б. и.], 2016, 2016.