Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Detalhes bibliográficos
Autor principal:	Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Autor Corporativo:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Outros Autores:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (727)
Resumo:	Защита сост. 29.06.2016 г.
Publicado em:	Томск, [Б. и.], 2016
Assuntos:	оксидные покрытия осаждение дуальные магнетронные распылительные системы тонкие пленки оксид титана аморфный углерод функциональные характеристики авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Formato:	Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=322601

Registros relacionados

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publicado em: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publicado em: (Томск, 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publicado em: (Томск, 2016)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publicado em: (Томск, 2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publicado em: (Томск, [Б. и.], 2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publicado em: (Томск, [Б. и.], 2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publicado em: (Томск, 2018)

Взаимодействие водорода с тонкой плёнкой Al[2]O[3] на нанокристаллическом титане диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
por: Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич
Publicado em: (Томск, 2016)

Изучения свойств оксидных плёнок, полученных с помощью дуального магнетрона
por: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Publicado em: (2009)

Взаимодействие водорода с тонкой плёнкой Al[2]O[3] на нанокристаллическом титане автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
por: Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич
Publicado em: (Томск, 2016)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
por: Рогожников Д. С.
Publicado em: (2016)

Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом
por: Николаев М. В.
Publicado em: (2015)

Магнетронный диод на парах металлов
por: Жуков В. В.
Publicado em: (2002)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
por: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Publicado em: (Томск, 2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
por: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Publicado em: (Томск, [Б. и.], 2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
por: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Publicado em: (Томск, [Б. и.], 2016)

Формирование и исследование тонкопленочной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
por: Чжан Ле
Publicado em: (Томск, 2020)

Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления
por: Мазурик Е. А.
Publicado em: (2014)

Формирование и исследование тонкоплёночной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
por: Чжан Ле
Publicado em: (Томск, 2020)

Моделирование магнитной подсистемы планарного магнетрона
por: Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д.
Publicado em: (2023)

Взаимодействие водорода с тонкой плёнкой Al[2]O[3] на нанокристаллическом титане диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
por: Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич
Publicado em: (Томск, [Б. и.], 2016)

Взаимодействие водорода с тонкой плёнкой Al[2]O[3] на нанокристаллическом титане автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
por: Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич
Publicado em: (Томск, [Б. и.], 2016)

Низкоэмиссионные и терморегулирующие покрытия на основе тонких слоев серебра
Publicado em: (2012)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом
por: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Publicado em: (2022)

Реактивное магнетронное напыление биосовместимых азотсодержащих покрытий из оксидов титана диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
por: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Publicado em: (Томск, 2025)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы
por: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Publicado em: (2011)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления
por: Шпакова Н. Ю.
Publicado em: (2011)

Реактивное магнетронное напыление биосовместимых азотсодержащих покрытий из оксидов титана автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
por: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Publicado em: (Томск, 2025)

Электропроводящие антифрикционные покрытия на основе системы CU-MO-S
Publicado em: (2016)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
Publicado em: (2018)

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС
por: Киселева Д. В.
Publicado em: (2015)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями
Publicado em: (2020)

Исследование биосовместимых покрытий на основе оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного напыления
por: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
Publicado em: (2014)

Плазменная технология осаждения отражающего покрытия на поверхность углепластика
Publicado em: (2011)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий
por: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Publicado em: (2020)

Оптимизация магнитного поля дуального магнетрона
por: Шелепова М. А.
Publicado em: (2009)

Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав
por: Иванова Н. М.
Publicado em: (2014)

Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем
por: Арсланов И. Р.
Publicado em: (2002)

Травление углеродных покрытий в плазме водорода
Publicado em: (2021)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
por: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicado em: (2021)