Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
| Autor principal: | |
|---|---|
| Autor corporatiu: | |
| Altres autors: | |
| Sumari: | Защита сост. 29.06.2016 г. |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
Томск, [Б. и.], 2016
|
| Matèries: | |
| Format: | Llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=322601 |