Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Institution som forfatter: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Andre forfattere: Кривобоков В. П. Валерий Павлович (727)
Summary:Защита сост. 29.06.2016 г.
Udgivet: Томск, [Б. и.], 2016
Fag:
оксидные покрытия
осаждение
дуальные магнетронные распылительные системы
тонкие пленки
оксид титана
аморфный углерод
функциональные характеристики
авторефераты диссертаций
труды учёных ТПУ
Format: Bog
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=322601
Beskrivelse
Fysisk beskrivelse:22 с. ил.
Summary:Защита сост. 29.06.2016 г.

Lignende værker