Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Dettagli Bibliografici
Autore principale: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Ente Autore: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Altri autori: Кривобоков В. П. Валерий Павлович (научный руководитель)
Riassunto:Защита сост. 29.06.2016 г.
Lingua:russo
Pubblicazione: Томск, [Б. и.], 2016
Soggetti:
Natura: Libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=322601
Descrizione
Descrizione fisica:22 с. ил.
Riassunto:Защита сост. 29.06.2016 г.