Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники

Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники

Bibliographic Details
Corporate Authors: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (БГУИР), Национальная Академия наук Беларуси (НАНБ, НАН Беларуси)
Other Authors: Достанко А.П. (340)
Summary:Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур.Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.Табл. 18. Ил. 196. Библиогр.: 263.
Language:Russian
Published: Минск, Беларуская навука, 2016
Subjects:
Электронная промышленность
электроника
электронные издания
технологические комплексы
технологические процессы
интегрированные комплексы
интегрированные системы
автоматизированные технологические комплексы
оптико-электронные изделия
СВЧ-системы
вакуумно-плазменная обработка
микроэлектроника
магнетронные системы
контроль
микроструктуры
наноструктуры
пленки
лазерное осаждение
кластерный комплекс
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=321534

Similar Items

Similar Items