|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
321534 |
| 005 |
20231102003403.0 |
| 010 |
|
|
|a 9789850819932
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\347089
|
| 090 |
|
|
|a 321534
|
| 100 |
|
|
|a 20160829d2016 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники
|f Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (БГУИР) ; Национальная Академия наук Беларуси (НАНБ, НАН Беларуси) ; под ред. А.П. Достанко
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Беларуская навука
|d 2016
|
| 215 |
|
|
|a 251 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце глав
|
| 330 |
|
|
|a Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур.Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.Табл. 18. Ил. 196. Библиогр.: 263.
|
| 606 |
1 |
|
|a Электронная промышленность
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\20362
|9 45471
|
| 610 |
1 |
|
|a электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные издания
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические комплексы
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a интегрированные комплексы
|
| 610 |
1 |
|
|a интегрированные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a автоматизированные технологические комплексы
|
| 610 |
1 |
|
|a оптико-электронные изделия
|
| 610 |
1 |
|
|a СВЧ-системы
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумно-плазменная обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a микроструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a наноструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a лазерное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a кластерный комплекс
|
| 675 |
|
|
|a 621.38.002
|v 4
|
| 702 |
|
1 |
|a Достанко
|b А.П.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (БГУИР)
|c (Минск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\429
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальная Академия наук Беларуси (НАНБ, НАН Беларуси)
|c (1997- )
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\3801
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160829
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20161107
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 61/20160829
|d 1
|e 756,00
|f ЧЗТЛ:1
|
