Справочник по вакуумной технике и технологиям: пер. с англ.

מידע ביבליוגרפי
מחברים אחרים:	Хоффман Д. (редактор), Сингх Б., Томас Дж.
סיכום:	Предлагаемый справочник по вакуумной технике и технологиям является переводом книги, созданной американскими специалистами.В справочнике приведены фундаментальные положения технологии вакуума и физики поверхности, рассмотрены конструкции различных типов насосов и средств измерения вакуума и течеискания. Подробно описаны различные вакуумные системы и технологии. Приведены примеры применения вакуумной техники.Большое внимание в справочнике уделено описанию технологии получения и поддержания безмасляного вакуума. Справочник содержит значительный объем экспериментальных данных, необходимых при проектировании и эксплуатации специального вакуумного технологического оборудования.Справочник является прекрасным дополнением к отечественным изданиям и будет полезен для инженерно-технических работников и специалистов, занимающихся конструированием, изготовлением и эксплуатацией вакуумных систем, а также для студентов и аспирантов технических вузов.
שפה:	רוסית
יצא לאור:	Москва, Техносфера, 2011
סדרה:	Мир радиоэлектроники
נושאים:	Вакуумная техника вакуумные технологии физика поверхности газы получение вакуум вакуумные измерения вакуумные системы конструкции технологические процессы производственные процессы вакуумные насосы диафрагменные насосы насосы Рутса крионасосы турбомолекулярные насосы сверхвысокий вакуум пароструйные насосы проводимость вакуумные клапаны осаждение распыление плазменное травление тонкие пленки ионно-лучевые технологии импульсное лазерное осаждение справочники
פורמט:	ספר
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=319455