|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
319455 |
| 005 |
20231102003201.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785948362946
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\344964
|
| 090 |
|
|
|a 319455
|
| 100 |
|
|
|a 20160531d2011 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a g 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Справочник по вакуумной технике и технологиям
|e пер. с англ.
|f под ред. Д. Хоффман ; Б. Сингха ; Дж. Томаса
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Техносфера
|d 2011
|
| 215 |
|
|
|a 736 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Мир радиоэлектроники
|
| 320 |
|
|
|a Предм. указ.: с. 722-735
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце тем
|
| 330 |
|
|
|a Предлагаемый справочник по вакуумной технике и технологиям является переводом книги, созданной американскими специалистами.В справочнике приведены фундаментальные положения технологии вакуума и физики поверхности, рассмотрены конструкции различных типов насосов и средств измерения вакуума и течеискания. Подробно описаны различные вакуумные системы и технологии. Приведены примеры применения вакуумной техники.Большое внимание в справочнике уделено описанию технологии получения и поддержания безмасляного вакуума. Справочник содержит значительный объем экспериментальных данных, необходимых при проектировании и эксплуатации специального вакуумного технологического оборудования.Справочник является прекрасным дополнением к отечественным изданиям и будет полезен для инженерно-технических работников и специалистов, занимающихся конструированием, изготовлением и эксплуатацией вакуумных систем, а также для студентов и аспирантов технических вузов.
|
| 606 |
1 |
|
|a Вакуумная техника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\1959
|9 30605
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумные технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a газы
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуум
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумные измерения
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a конструкции
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a производственные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумные насосы
|
| 610 |
1 |
|
|a диафрагменные насосы
|
| 610 |
1 |
|
|a насосы Рутса
|
| 610 |
1 |
|
|a крионасосы
|
| 610 |
1 |
|
|a турбомолекулярные насосы
|
| 610 |
1 |
|
|a сверхвысокий вакуум
|
| 610 |
1 |
|
|a пароструйные насосы
|
| 610 |
1 |
|
|a проводимость
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумные клапаны
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменное травление
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-лучевые технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a импульсное лазерное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a справочники
|
| 675 |
|
|
|a 621.385(035)
|v 4
|
| 702 |
|
1 |
|a Хоффман
|b Д.
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Сингх
|b Б.
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Томас
|b Дж.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160531
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20161028
|g RCR
|
| 900 |
|
|
|a Вакуумная и плазменная электроника
|
| 900 |
|
|
|a Вакуумная техника
|
| 900 |
|
|
|a Вакуумное оборудование плазменных и ускорительных систем
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 41/20160513
|d 3
|e 1188,00
|f ЧЗТЛ:1
|f УФ:2
|
