Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство
| मुख्य लेखक: | |
|---|---|
| सारांश: | В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления. Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов. Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников. |
| भाषा: | रूसी |
| प्रकाशित: |
Долгопрудный, Интеллект, 2016
|
| विषय: | |
| स्वरूप: | पुस्तक |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=318111 |
समान संसाधन
Проблемы литографии в микроэлектронике
प्रकाशित: (Москва, Наука, 1987)
प्रकाशित: (Москва, Наука, 1987)
Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
प्रकाशित: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)
प्रकाशित: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)
Современные технологии в микроэлектронике: электронный курс
द्वारा: Юрьева А. В. Алена Викторовна
प्रकाशित: (Томск, TPU Moodle, 2014)
द्वारा: Юрьева А. В. Алена Викторовна
प्रकाशित: (Томск, TPU Moodle, 2014)
Нанотехнологии в микроэлектронике
प्रकाशित: (Москва, Наука, 2019)
प्रकाशित: (Москва, Наука, 2019)
Микроэлектроника: учебное пособие
द्वारा: Бондарь Б. Г. Борис Георгиевич
प्रकाशित: (Киев, Вища школа, 1981)
द्वारा: Бондарь Б. Г. Борис Георгиевич
प्रकाशित: (Киев, Вища школа, 1981)
Обработка монокристаллов в микроэлектронике
द्वारा: Карбань В. И. Валерий Иванович
प्रकाशित: (Москва, Радио и связь, 1988)
द्वारा: Карбань В. И. Валерий Иванович
प्रकाशित: (Москва, Радио и связь, 1988)
Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации
द्वारा: Александров В. К. Владимир Кузьмич
प्रकाशित: (Минск, Наука и техника, 1983)
द्वारा: Александров В. К. Владимир Кузьмич
प्रकाशित: (Минск, Наука и техника, 1983)
Математическое и машинное моделирование в микроэлектронике. ММММ-86: доклады школы-семинара, 1986 г., Паланга
प्रकाशित: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)
प्रकाशित: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)
Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике: сборник научных трудов
प्रकाशित: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)
प्रकाशित: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)
Сборник научных трудов по проблемам микроэлектронике
प्रकाशित: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1979)
प्रकाशित: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1979)
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование Учебно-методическая литература
द्वारा: Киреев В.Ю.
प्रकाशित: (Долгопрудный, Издательский дом "Интеллект", 2016)
द्वारा: Киреев В.Ю.
प्रकाशित: (Долгопрудный, Издательский дом "Интеллект", 2016)
Материалы и методы нанотехнологии: учебное пособие
द्वारा: Старостин В. В. Виктор Васильевич
प्रकाशित: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2008)
द्वारा: Старостин В. В. Виктор Васильевич
प्रकाशित: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2008)
Немецко-русский словарь по микроэлектронике: 21225 терминов
द्वारा: Панкин А. В. Александр Васильевич
प्रकाशित: (Москва, ЭТС, 1995)
द्वारा: Панкин А. В. Александр Васильевич
प्रकाशित: (Москва, ЭТС, 1995)
Англо-русский словарь по микроэлектронике: около 15 000 терминов
द्वारा: Прохоров К. Я. Константин Яковлевич
प्रकाशित: (Москва, Русский язык, 1985)
द्वारा: Прохоров К. Я. Константин Яковлевич
प्रकाशित: (Москва, Русский язык, 1985)
Вып. 38 : Спецматериалы для микроэлектронике; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
प्रकाशित: (1978)
प्रकाशित: (1978)
Микроэлектронные устройства и основы их проектирования: учебник для среднего специального образования
द्वारा: Николаев И. М. Игорь Моисеевич
प्रकाशित: (Москва, Энергия, 1979)
द्वारा: Николаев И. М. Игорь Моисеевич
प्रकाशित: (Москва, Энергия, 1979)
Автоматизация производственных процессов в микроэлектронике: сборник научных трудов
प्रकाशित: (Москва, [Б. и.], 1982)
प्रकाशित: (Москва, [Б. и.], 1982)
Микроэлектронная технология и ее влияние на общество: пер. с англ.; сборник статей
प्रकाशित: (Москва, Знание, 1987)
प्रकाशित: (Москва, Знание, 1987)
Адаптивные промышленные роботы и их применение в микроэлектронике
द्वारा: Жаботинский Ю. Д. Юрий данилович
प्रकाशित: (Москва, Радио и связь, 1985)
द्वारा: Жаботинский Ю. Д. Юрий данилович
प्रकाशित: (Москва, Радио и связь, 1985)
Microelectronics
द्वारा: Alley C. L. Charles
प्रकाशित: (New Jersey, Prentice Hall, 1986)
द्वारा: Alley C. L. Charles
प्रकाशित: (New Jersey, Prentice Hall, 1986)
Физические основы микроэлектроники: учебник для вузов
द्वारा: Марголин В. И. Владимир Игоревич
प्रकाशित: (Москва, Академия, 2008)
द्वारा: Марголин В. И. Владимир Игоревич
प्रकाशित: (Москва, Академия, 2008)
Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники: пер. с англ.
द्वारा: Мартинес-Дуарт Дж. М.
प्रकाशित: (Москва, Техносфера, 2007)
द्वारा: Мартинес-Дуарт Дж. М.
प्रकाशित: (Москва, Техносфера, 2007)
Материалы и методы нанотехнологии: учебное пособие
द्वारा: Старостин В. В. Виктор Васильевич
प्रकाशित: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)
द्वारा: Старостин В. В. Виктор Васильевич
प्रकाशित: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)
[Ч. 1]; Пути повышения стабильности и надежности микроэлементов и микросхем
प्रकाशित: (1988)
प्रकाशित: (1988)
Вып. 37 : СВЧ и измерительная техника в микроэлектронике; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
प्रकाशित: (1978)
प्रकाशित: (1978)
Микроэлектроника: физические и технологические основы, надежность: учебное пособие
द्वारा: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
प्रकाशित: (Москва, Высшая школа, 1986)
द्वारा: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
प्रकाशित: (Москва, Высшая школа, 1986)
Технологические проблемы микроэлектроники
प्रकाशित: (Москва, Наука, 1988)
प्रकाशित: (Москва, Наука, 1988)
Расчет комплексов оборудования микроэлектроники
द्वारा: Корнилов Р. В. Ростислав Васильевич
प्रकाशित: (Москва, Энергия, 1979)
द्वारा: Корнилов Р. В. Ростислав Васильевич
प्रकाशित: (Москва, Энергия, 1979)
Электроника и интеллект
द्वारा: Федотов Я. А. Яков Андреевич
प्रकाशित: (Минск, Вышэйшая школа, 1985)
द्वारा: Федотов Я. А. Яков Андреевич
प्रकाशित: (Минск, Вышэйшая школа, 1985)
Исследования новых микроэлектронных приборов и устройств. Вопросы электроники: межвузовский сборник
प्रकाशित: (Кишинев, Штиинца, 1987)
प्रकाशित: (Кишинев, Штиинца, 1987)
Вып. 39 : Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
प्रकाशित: (1978)
प्रकाशित: (1978)
Микроэлектроника: межвузовский сборник; Вып. 2
प्रकाशित: (Казань, Изд-во КАИ, 1978)
प्रकाशित: (Казань, Изд-во КАИ, 1978)
Проблемы микроэлектроники: сборник научных трудов
प्रकाशित: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1986)
प्रकाशित: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1986)
Микроэлектроника. Проектирование, виды микросхем, новые направления: учебное пособие
द्वारा: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
प्रकाशित: (Москва, Высшая школа, 1978)
द्वारा: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
प्रकाशित: (Москва, Высшая школа, 1978)
Точное машиностроение для микроэлектроники
द्वारा: Онегин Е. Е. Евгений Евгеньевич
प्रकाशित: (Москва, Радио и связь, 1986)
द्वारा: Онегин Е. Е. Евгений Евгеньевич
प्रकाशित: (Москва, Радио и связь, 1986)
Постояннотоковый полярограф для контроля микропримесей в материалах технологии микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.11.13
द्वारा: Кулагин Е. М. Евгений Михайлович
प्रकाशित: (Томск, [Б. и.], 1983)
द्वारा: Кулагин Е. М. Евгений Михайлович
प्रकाशित: (Томск, [Б. и.], 1983)
Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники: сборник научных трудов
प्रकाशित: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1985)
प्रकाशित: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1985)
Физико-технологические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
प्रकाशित: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)
प्रकाशित: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)
Новые материалы для радио-, опто- и акустоэлектроники: межвузовский сборник
प्रकाशित: (Красноярск, Изд-во КГУ, 1982)
प्रकाशित: (Красноярск, Изд-во КГУ, 1982)
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
द्वारा: Валиев К. А. Камиль Ахметович
प्रकाशित: (Москва, Радио и связь, 1984)
द्वारा: Валиев К. А. Камиль Ахметович
प्रकाशित: (Москва, Радио и связь, 1984)