Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство

Библиографические подробности
Главный автор:	Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Примечания:	В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления. Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов. Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.
Язык:	русский
Опубликовано:	Долгопрудный, Интеллект, 2016
Предметы:	Микроэлектроника нанотехнологии нанолитография интегральные схемы наноструктуры топология фотолитография развитие наноимпринт-литография технологические маршруты оборудование учебно-справочные руководства
Формат:	Книга
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=318111

Схожие документы

Проблемы литографии в микроэлектронике
Опубликовано: (Москва, Наука, 1987)

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Опубликовано: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)

Современные технологии в микроэлектронике: электронный курс
по: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Опубликовано: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Нанотехнологии в микроэлектронике
Опубликовано: (Москва, Наука, 2019)

Микроэлектроника: учебное пособие
по: Бондарь Б. Г. Борис Георгиевич
Опубликовано: (Киев, Вища школа, 1981)

Обработка монокристаллов в микроэлектронике
по: Карбань В. И. Валерий Иванович
Опубликовано: (Москва, Радио и связь, 1988)

Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации
по: Александров В. К. Владимир Кузьмич
Опубликовано: (Минск, Наука и техника, 1983)

Математическое и машинное моделирование в микроэлектронике. ММММ-86: доклады школы-семинара, 1986 г., Паланга
Опубликовано: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)

Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике: сборник научных трудов
Опубликовано: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)

Сборник научных трудов по проблемам микроэлектронике
Опубликовано: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1979)

Материалы и методы нанотехнологии: учебное пособие
по: Старостин В. В. Виктор Васильевич
Опубликовано: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2008)

Немецко-русский словарь по микроэлектронике: 21225 терминов
по: Панкин А. В. Александр Васильевич
Опубликовано: (Москва, ЭТС, 1995)

Англо-русский словарь по микроэлектронике: около 15 000 терминов
по: Прохоров К. Я. Константин Яковлевич
Опубликовано: (Москва, Русский язык, 1985)

Микроэлектронные устройства и основы их проектирования: учебник для среднего специального образования
по: Николаев И. М. Игорь Моисеевич
Опубликовано: (Москва, Энергия, 1979)

Вып. 38 : Спецматериалы для микроэлектронике; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Опубликовано: (1978)

Автоматизация производственных процессов в микроэлектронике: сборник научных трудов
Опубликовано: (Москва, [Б. и.], 1982)

Физические основы микроэлектроники: учебник для вузов
по: Марголин В. И. Владимир Игоревич
Опубликовано: (Москва, Академия, 2008)

Микроэлектронная технология и ее влияние на общество: пер. с англ.; сборник статей
Опубликовано: (Москва, Знание, 1987)

Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники: пер. с англ.
по: Мартинес-Дуарт Дж. М.
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2007)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование Учебно-методическая литература
по: Киреев В.Ю.
Опубликовано: (Долгопрудный, Издательский дом "Интеллект", 2016)

Microelectronics
по: Alley C. L. Charles
Опубликовано: (New Jersey, Prentice Hall, 1986)

Адаптивные промышленные роботы и их применение в микроэлектронике
по: Жаботинский Ю. Д. Юрий данилович
Опубликовано: (Москва, Радио и связь, 1985)

Материалы и методы нанотехнологии: учебное пособие
по: Старостин В. В. Виктор Васильевич
Опубликовано: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование Учебно-методическая литература
по: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Опубликовано: (Долгопрудный, Издательский дом "Интеллект", 2026)

[Ч. 1]; Пути повышения стабильности и надежности микроэлементов и микросхем
Опубликовано: (1988)

Вып. 37 : СВЧ и измерительная техника в микроэлектронике; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Опубликовано: (1978)

Микроэлектроника: физические и технологические основы, надежность: учебное пособие
по: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Опубликовано: (Москва, Высшая школа, 1986)

Технологические проблемы микроэлектроники
Опубликовано: (Москва, Наука, 1988)

Расчет комплексов оборудования микроэлектроники
по: Корнилов Р. В. Ростислав Васильевич
Опубликовано: (Москва, Энергия, 1979)

Электроника и интеллект
по: Федотов Я. А. Яков Андреевич
Опубликовано: (Минск, Вышэйшая школа, 1985)

Исследования новых микроэлектронных приборов и устройств. Вопросы электроники: межвузовский сборник
Опубликовано: (Кишинев, Штиинца, 1987)

Микроэлектроника: межвузовский сборник; Вып. 2
Опубликовано: (Казань, Изд-во КАИ, 1978)

Вып. 39 : Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Опубликовано: (1978)

Проблемы микроэлектроники: сборник научных трудов
Опубликовано: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1986)

Микроэлектроника. Проектирование, виды микросхем, новые направления: учебное пособие
по: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Опубликовано: (Москва, Высшая школа, 1978)

Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники: сборник научных трудов
Опубликовано: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1985)

Постояннотоковый полярограф для контроля микропримесей в материалах технологии микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.11.13
по: Кулагин Е. М. Евгений Михайлович
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 1983)

Точное машиностроение для микроэлектроники
по: Онегин Е. Е. Евгений Евгеньевич
Опубликовано: (Москва, Радио и связь, 1986)

Физико-технологические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
Опубликовано: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)

Новые материалы для радио-, опто- и акустоэлектроники: межвузовский сборник
Опубликовано: (Красноярск, Изд-во КГУ, 1982)