Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование учебно-справочное руководство

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование, учебно-справочное руководство

Detalhes bibliográficos
Autor principal: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Resumo:В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления. Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов. Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.
Idioma:russo
Publicado em: Долгопрудный, Интеллект, 2016
Assuntos:
Микроэлектроника
нанотехнологии
нанолитография
интегральные схемы
наноструктуры
топология
фотолитография
развитие
наноимпринт-литография
технологические маршруты
оборудование
учебно-справочные руководства
Formato: Livro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=318111

Registos relacionados

Registos relacionados