Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας:	Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Περίληψη:	В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления. Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов. Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.
Γλώσσα:	Ρωσικά
Έκδοση:	Долгопрудный, Интеллект, 2016
Θέματα:	Микроэлектроника нанотехнологии нанолитография интегральные схемы наноструктуры топология фотолитография развитие наноимпринт-литография технологические маршруты оборудование учебно-справочные руководства
Μορφή:	Βιβλίο
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=318111

Παρόμοια τεκμήρια

Проблемы литографии в микроэлектронике
Έκδοση: (Москва, Наука, 1987)

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Έκδοση: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)

Современные технологии в микроэлектронике: электронный курс
από: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Έκδοση: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Нанотехнологии в микроэлектронике
Έκδοση: (Москва, Наука, 2019)

Микроэлектроника: учебное пособие
από: Бондарь Б. Г. Борис Георгиевич
Έκδοση: (Киев, Вища школа, 1981)

Обработка монокристаллов в микроэлектронике
από: Карбань В. И. Валерий Иванович
Έκδοση: (Москва, Радио и связь, 1988)

Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации
από: Александров В. К. Владимир Кузьмич
Έκδοση: (Минск, Наука и техника, 1983)

Математическое и машинное моделирование в микроэлектронике. ММММ-86: доклады школы-семинара, 1986 г., Паланга
Έκδοση: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)

Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике: сборник научных трудов
Έκδοση: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)

Сборник научных трудов по проблемам микроэлектронике
Έκδοση: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1979)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование Учебно-методическая литература
από: Киреев В.Ю.
Έκδοση: (Долгопрудный, Издательский дом "Интеллект", 2016)

Материалы и методы нанотехнологии: учебное пособие
από: Старостин В. В. Виктор Васильевич
Έκδοση: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2008)

Немецко-русский словарь по микроэлектронике: 21225 терминов
από: Панкин А. В. Александр Васильевич
Έκδοση: (Москва, ЭТС, 1995)

Англо-русский словарь по микроэлектронике: около 15 000 терминов
από: Прохоров К. Я. Константин Яковлевич
Έκδοση: (Москва, Русский язык, 1985)

Вып. 38 : Спецматериалы для микроэлектронике; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Έκδοση: (1978)

Микроэлектронные устройства и основы их проектирования: учебник для среднего специального образования
από: Николаев И. М. Игорь Моисеевич
Έκδοση: (Москва, Энергия, 1979)

Автоматизация производственных процессов в микроэлектронике: сборник научных трудов
Έκδοση: (Москва, [Б. и.], 1982)

Микроэлектронная технология и ее влияние на общество: пер. с англ.; сборник статей
Έκδοση: (Москва, Знание, 1987)

Адаптивные промышленные роботы и их применение в микроэлектронике
από: Жаботинский Ю. Д. Юрий данилович
Έκδοση: (Москва, Радио и связь, 1985)

Microelectronics
από: Alley C. L. Charles
Έκδοση: (New Jersey, Prentice Hall, 1986)

Физические основы микроэлектроники: учебник для вузов
από: Марголин В. И. Владимир Игоревич
Έκδοση: (Москва, Академия, 2008)

Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники: пер. с англ.
από: Мартинес-Дуарт Дж. М.
Έκδοση: (Москва, Техносфера, 2007)

Материалы и методы нанотехнологии: учебное пособие
από: Старостин В. В. Виктор Васильевич
Έκδοση: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)

[Ч. 1]; Пути повышения стабильности и надежности микроэлементов и микросхем
Έκδοση: (1988)

Вып. 37 : СВЧ и измерительная техника в микроэлектронике; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Έκδοση: (1978)

Микроэлектроника: физические и технологические основы, надежность: учебное пособие
από: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Έκδοση: (Москва, Высшая школа, 1986)

Технологические проблемы микроэлектроники
Έκδοση: (Москва, Наука, 1988)

Расчет комплексов оборудования микроэлектроники
από: Корнилов Р. В. Ростислав Васильевич
Έκδοση: (Москва, Энергия, 1979)

Электроника и интеллект
από: Федотов Я. А. Яков Андреевич
Έκδοση: (Минск, Вышэйшая школа, 1985)

Исследования новых микроэлектронных приборов и устройств. Вопросы электроники: межвузовский сборник
Έκδοση: (Кишинев, Штиинца, 1987)

Вып. 39 : Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Έκδοση: (1978)

Микроэлектроника: межвузовский сборник; Вып. 2
Έκδοση: (Казань, Изд-во КАИ, 1978)

Проблемы микроэлектроники: сборник научных трудов
Έκδοση: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1986)

Микроэлектроника. Проектирование, виды микросхем, новые направления: учебное пособие
από: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Έκδοση: (Москва, Высшая школа, 1978)

Точное машиностроение для микроэлектроники
από: Онегин Е. Е. Евгений Евгеньевич
Έκδοση: (Москва, Радио и связь, 1986)

Постояннотоковый полярограф для контроля микропримесей в материалах технологии микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.11.13
από: Кулагин Е. М. Евгений Михайлович
Έκδοση: (Томск, [Б. и.], 1983)

Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники: сборник научных трудов
Έκδοση: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1985)

Физико-технологические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
Έκδοση: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)

Новые материалы для радио-, опто- и акустоэлектроники: межвузовский сборник
Έκδοση: (Красноярск, Изд-во КГУ, 1982)

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
από: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Έκδοση: (Москва, Радио и связь, 1984)