Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ:	Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Ամփոփում:	В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления. Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов. Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.
Լեզու:	ռուսերեն
Հրապարակվել է:	Долгопрудный, Интеллект, 2016
Խորագրեր:	Микроэлектроника нанотехнологии нанолитография интегральные схемы наноструктуры топология фотолитография развитие наноимпринт-литография технологические маршруты оборудование учебно-справочные руководства
Ձևաչափ:	Գիրք
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=318111

Նմանատիպ նյութեր

Проблемы литографии в микроэлектронике
Հրապարակվել է: (Москва, Наука, 1987)

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Հրապարակվել է: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)

Нанотехнологии в микроэлектронике
Հրապարակվել է: (Москва, Наука, 2019)

Современные технологии в микроэлектронике: электронный курс
‌: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Հրապարակվել է: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Микроэлектроника: учебное пособие
‌: Бондарь Б. Г. Борис Георгиевич
Հրապարակվել է: (Киев, Вища школа, 1981)

Обработка монокристаллов в микроэлектронике
‌: Карбань В. И. Валерий Иванович
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1988)

Материалы и методы нанотехнологии: учебное пособие
‌: Старостин В. В. Виктор Васильевич
Հրապարակվել է: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2008)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование Учебно-методическая литература
‌: Киреев В.Ю.
Հրապարակվել է: (Долгопрудный, Издательский дом "Интеллект", 2016)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование Учебно-методическая литература
‌: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Հրապարակվել է: (Долгопрудный, Издательский дом "Интеллект", 2026)

Математическое и машинное моделирование в микроэлектронике. ММММ-86: доклады школы-семинара, 1986 г., Паланга
Հրապարակվել է: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)

Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации
‌: Александров В. К. Владимир Кузьмич
Հրապարակվել է: (Минск, Наука и техника, 1983)

Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)

Сборник научных трудов по проблемам микроэлектронике
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1979)

Немецко-русский словарь по микроэлектронике: 21225 терминов
‌: Панкин А. В. Александр Васильевич
Հրապարակվել է: (Москва, ЭТС, 1995)

Англо-русский словарь по микроэлектронике: около 15 000 терминов
‌: Прохоров К. Я. Константин Яковлевич
Հրապարակվել է: (Москва, Русский язык, 1985)

Вып. 38 : Спецматериалы для микроэлектронике; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Հրապարակվել է: (1978)

Автоматизация производственных процессов в микроэлектронике: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Москва, [Б. и.], 1982)

Микроэлектронные устройства и основы их проектирования: учебник для среднего специального образования
‌: Николаев И. М. Игорь Моисеевич
Հրապարակվել է: (Москва, Энергия, 1979)

Материалы и методы нанотехнологии: учебное пособие
‌: Старостин В. В. Виктор Васильевич
Հրապարակվել է: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)

Микроэлектронная технология и ее влияние на общество: пер. с англ.; сборник статей
Հրապարակվել է: (Москва, Знание, 1987)

Адаптивные промышленные роботы и их применение в микроэлектронике
‌: Жаботинский Ю. Д. Юрий данилович
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1985)

Microelectronics
‌: Alley C. L. Charles
Հրապարակվել է: (New Jersey, Prentice Hall, 1986)

Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники: пер. с англ.
‌: Мартинес-Дуарт Дж. М.
Հրապարակվել է: (Москва, Техносфера, 2007)

Физические основы микроэлектроники: учебник для вузов
‌: Марголин В. И. Владимир Игоревич
Հրապարակվել է: (Москва, Академия, 2008)

[Ч. 1]; Пути повышения стабильности и надежности микроэлементов и микросхем
Հրապարակվել է: (1988)

Вып. 37 : СВЧ и измерительная техника в микроэлектронике; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Հրապարակվել է: (1978)

Микроэлектроника: физические и технологические основы, надежность: учебное пособие
‌: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Հրապարակվել է: (Москва, Высшая школа, 1986)

Технологические проблемы микроэлектроники
Հրապարակվել է: (Москва, Наука, 1988)

Расчет комплексов оборудования микроэлектроники
‌: Корнилов Р. В. Ростислав Васильевич
Հրապարակվել է: (Москва, Энергия, 1979)

Электроника и интеллект
‌: Федотов Я. А. Яков Андреевич
Հրապարակվել է: (Минск, Вышэйшая школа, 1985)

Исследования новых микроэлектронных приборов и устройств. Вопросы электроники: межвузовский сборник
Հրապարակվել է: (Кишинев, Штиинца, 1987)

Проблемы микроэлектроники: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1986)

Вып. 39 : Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Հրապարակվել է: (1978)

Микроэлектроника. Проектирование, виды микросхем, новые направления: учебное пособие
‌: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Հրապարակվել է: (Москва, Высшая школа, 1978)

Микроэлектроника: межвузовский сборник; Вып. 2
Հրապարակվել է: (Казань, Изд-во КАИ, 1978)

Наноструктуры и наноматериалы. Синтез, свойства и применение: пер. с англ. 2-го изд.
‌: Цао Г. Гочжун
Հրապարակվել է: (Москва, Научный мир, 2012)

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
‌: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1984)

Постояннотоковый полярограф для контроля микропримесей в материалах технологии микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.11.13
‌: Кулагин Е. М. Евгений Михайлович
Հրապարակվել է: (Томск, [Б. и.], 1983)

Моделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1985)

Точное машиностроение для микроэлектроники
‌: Онегин Е. Е. Евгений Евгеньевич
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1986)