|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
318111 |
| 005 |
20231102003038.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785915592154
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\343592
|
| 090 |
|
|
|a 318111
|
| 100 |
|
|
|a 20160420d2014 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a gj 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование
|e учебно-справочное руководство
|f В. Ю. Киреев
|
| 210 |
|
|
|a Долгопрудный
|c Интеллект
|d 2016
|
| 215 |
|
|
|a 320 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 314-319
|
| 330 |
|
|
|a В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления. Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов. Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811
|9 63253
|
| 610 |
1 |
|
|a нанотехнологии
|
| 610 |
1 |
|
|a нанолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a наноструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a топология
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a развитие
|
| 610 |
1 |
|
|a наноимпринт-литография
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические маршруты
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a учебно-справочные руководства
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77(075.8)(035)
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Киреев
|b В. Ю.
|g Валерий Юрьевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160420
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160707
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 32/20160331
|d 1
|e 1200,00
|f ЧЗТЛ:1
|
